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書誌情報サマリ

書名

マイクロ・ナノ領域の超精密技術　

著者名 日本学術振興会将来加工技術第136委員会／編
著者名ヨミ ニホン ガクジュツ シンコウカイ ショウライ カコウ ギジュツ ダイヒャクサンジュウロク イインカイ
出版者 オーム社
出版年月 2011.3

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No. 所蔵館 資料番号 請求番号 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 県立長野図0113696660532/ﾆﾎ/開架帯出可在庫  ○

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書誌詳細

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タイトルコード 1000000451910
書誌種別 図書一般
著者名 日本学術振興会将来加工技術第136委員会／編
著者名ヨミ ニホン ガクジュツ シンコウカイ ショウライ カコウ ギジュツ ダイヒャクサンジュウロク イインカイ
出版者 オーム社
出版年月 2011.3
ページ数 9,374p
大きさ 22cm
ISBN 4-274-21005-1
分類記号 532
書名 マイクロ・ナノ領域の超精密技術　
書名ヨミ マイクロ ナノ リョウイキ ノ チョウセイミツ ギジュツ
内容紹介 超精密微細加工技術から、デバイス創成技術、洗浄技術、表面形状評価、マイクロ・ナノレベルの材料評価技術まで、マイクロ・ナノ領域の超精密技術について紹介する。表面粗さ評価法、硬さ評価法も掲載。



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