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書誌情報サマリ

書名

半導体CMP用語事典　

著者名 精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会／編
著者名ヨミ セイミツ コウガクカイ プラナリゼーション シーエムピー ト ソノ オウヨウ ギジュツ センモン イインカイ
出版者 オーム社
出版年月 2008.10

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No. 所蔵館 資料番号 請求番号 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 県立長野図0102181310N379.2/29/2書庫禁帯出在庫  ×

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書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1001100595404
書誌種別 図書一般
著者名 精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会／編
著者名ヨミ セイミツ コウガクカイ プラナリゼーション シーエムピー ト ソノ オウヨウ ギジュツ センモン イインカイ
出版者 オーム社
出版年月 2008.10
ページ数 7,262p
大きさ 19cm
ISBN 4-274-20612-2
分類記号 549.7
書名 半導体CMP用語事典　
書名ヨミ ハンドウタイ シーエムピー ヨウゴ ジテン
内容紹介 加工技術・装置、洗浄・洗浄化技術、計測・評価技術、デバイス化技術などの各分野について、半導体CMP技術・工程に関連する重要用語約450語を、図表・データを用いてわかりやすく解説する。



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