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書誌情報サマリ

書名

薄膜化技術　

著者名 和佐 清孝／著
著者名ヨミ ワサ キヨタカ
出版者 共立出版
出版年月 2002.6

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No. 所蔵館 資料番号 請求番号 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 県立長野図0107068587549.8/ﾜｷ/書庫帯出可在庫  ○

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書誌詳細

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タイトルコード 1009910305820
書誌種別 図書一般
著者名 和佐 清孝／著
著者名ヨミ ワサ キヨタカ
出版者 共立出版
出版年月 2002.6
ページ数 316p
大きさ 22cm
ISBN 4-320-08613-9
分類記号 549.8
書名 薄膜化技術　
書名ヨミ ハクマクカ ギジュツ
内容紹介 原子スケールでの材料技術を特徴としている薄膜は、ナノスケール素材・デバイス形成の要素技術であり、エレクトロニクスや環境技術分野で重要である。基礎科学的視点を追加し、最新のデータを増補した、92年刊に次ぐ第3版。
著者紹介 横浜市立大学理学部客員教授。共著に「強誘電性と高温超伝導」他。



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