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書誌情報サマリ

書名

半導体製造装置用語辞典　

著者名 日本半導体製造装置協会／編
著者名ヨミ ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2000.11

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No. 所蔵館 資料番号 請求番号 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 県立長野図0103896635549.8/ﾆﾎ/書庫帯出可在庫  ○

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書誌詳細

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タイトルコード 1009910157905
書誌種別 図書一般
著者名 日本半導体製造装置協会／編
著者名ヨミ ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2000.11
ページ数 588p
大きさ 22cm
ISBN 4-526-04666-3
分類記号 549.8
書名 半導体製造装置用語辞典　
書名ヨミ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン
内容紹介 半導体産業の発展は日本の産業基盤強化に大きく寄与し、経済への波及効果も非情に大きい。急速な技術進展を背景に、21世紀の新技術に適用できる用語辞典をめざす。97年刊に次ぐ改訂第5版。



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